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查看更多,更快地工作

看到更多意味着更快地工作。为了快速扫描高达6'的大型组件,DM3 XL提供了独特的微距物镜。

放大倍率为0.7倍,它可以一次捕获35.7毫米的视场– 比其他常规扫描物镜多30%。

有了宏观目标,缺陷就没有机会了:

  • 提高产量
  • 可靠地检测到晶圆边缘或中心的显影不足
  • 检测不均匀的径向膜厚度

LED适用于所有对比方法

DM3 XL将LED照明用于所有对比方法。 LED照明提供恒定的色温,并在所有强度级别提供真实的彩色成像。 

  • 在所有强度级别上栩栩如生的彩色成像
  • 免调整
  • 无需更换灯泡-无需停机
  • 可重复的结果

由于使用寿命长且功耗低,LED还具有巨大的成本节省潜力。

光学高性能

使用DM3 XL,您可以以可承受的价格享受卓越的光学效果。

  • 用倾斜照明检查侧面,边缘或碎片:从不同角度照亮样本,这是可视化地形图的简便有效方法。
  • 通过深入的暗场对比检测样品下层中的微划痕或小颗粒。

灵敏度和分辨率的大幅提高会让您震惊。

在以下位置了解有关我们目标范围的更多信息 徕卡光学中心.

各种样品–可变台插入

无论您要检查哪种样品大小和样品类型,都可以从各种载物台中进行选择:

  • 载物台尺寸:150毫米x 150毫米
  • 舞台插件:金属插件,晶片支架或面罩支架
  • 快速粗台或精台定位

舒适直观地工作

彩色编码膜片助手(CCDA)简化了分辨率,对比度和景深的基本设置,有助于加快工作速度并最大程度地减少操作错误。

简单直观的功能使您的团队可以更快地提供最佳结果。 

  • 借助易于触及的控件,在切换对比度或照明时,将手放在显微镜上,眼睛放在样品上
  • 用右手轻松操作光强度控制器
  • 使用可变的ErgoTubes和聚焦旋钮将显微镜调整到不同的身高

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与我们的专家交谈。 我们很高兴回答您的所有问题。

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