多晶金属的对比度增强-SEM的样品制备

2017年2月1日文章

徕卡EM RES102应用笔记-材料研究

目的
离子铣削是化学蚀刻的理想选择，特别是对于铜等多晶金属而言。离子铣削可用于增加晶粒结构及其界面的对比度。与化学蚀刻相反，铣削过程清洁，安全且易于操作。离子能和研磨时间取决于金属的研磨速率。

工艺参数

结果
铜的铣削速率很高，因此在短短的铣削时间（仅3分钟）后即可清晰看到晶粒结构。

离子束斜切后的铜表面