EM TIC 3X离子束铣床
这 em. TiC 3X是一种宽离子束铣床，用于制备江苏体彩横截面以及用于扫描电子显微镜的平面江苏体彩（ SEM. ），光学显微镜（ LM. ），微观结构分析（EDS，WDS，螺旋钻，EBSD）和原子力显微镜（ AFM ）调查。该仪器配备了三重离子梁系统，可以在室温或低温下处理几乎任何材料的大表面区域。
这 em. TIC 3x是一个模块化系统的设置，可以灵活配备各种应用的不同阶段：
- 标准阶段：准备各种不同尺寸，形状和材料的江苏体彩
- 冷却阶段：防止通过过热破坏的热冷却敏感江苏体彩
- 多个样本阶段：连续准备至少三个江苏体彩，没有用户交互保证高级样本吞吐量。
- 旋转级：用于平铣或离子束抛光
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离子束蚀刻方法
离子束蚀刻，也称为离子束铣削或离子研磨，是用于制备用于扫描电子显微镜的固态江苏体彩的最广泛使用的蚀刻方法（ SEM. ）应用程序。在该过程中，用高真空室中的高能氩离子束轰击江苏体彩材料。通过高能离子除去材料的顶层，以实现无缺陷的江苏体彩表面。离子能量和铣削角度取决于相应的应用，可以相应地调整。还可以通过最终离子抛光过程改善机械抛光表面的质量。可以使用离子铣削技术清洁，抛光江苏体彩的表面，抛光并具有它们的对比度。这些技术用于获得高分辨率 SEM. 用于各种应用的图像，例如故障分析和执行表面敏感分析，例如EBSD进行材料表征。
EM TIC 3X独特三重离子梁系统的工作原理
三重离子源 em. TIC 3X由三个独立的可控马鞍场离子枪组成。离子能量可调节1至10keV。离子源将用工艺气体，优选氩气供给。高电压（1至10kV）将应用于阳极上。阴极和Wehnelt汽缸位于地球势。由于阳极和阴极之间的电场，处理气体将被电离（AR +）和等离子体点燃。正向带电离子将朝向阴极加速并产生电子。这种轰炸导致阴极磨损。负电荷电子将朝向阳极加速并与气体碰撞并产生离子。由于阳极和Wehnelt圆柱体（鞍座场）之间的电场的形状，形成两个离子束并朝向两个阴极加速。一个光束被（盲）后侧阴极阻挡。另一梁将通过前侧阴极的梁出口引导。离子的能量与加速电压相匹配。
通过离子束蚀刻横截面江苏体彩制备
生产用于扫描电子显微镜的横截面（ SEM. ），江苏体彩覆盖有锋利的掩模，使得仅50-100μm江苏体彩材料暴露在掩模上方。三个离子束在掩模边缘的中心相交，并撞击未涂覆的材料并将其移除以产生具有高表面质量的江苏体彩横截面。离子枪的设计发育300μm/小时（Si 10kV，3.5 mA，距边缘100μm）的铣削速率。这种独特的技术以高材料去除率产生大于4×1mm的大于4×1mm的巨大横截面面积，以实现高质量的表面光洁度。
通过离子束蚀刻进行平面江苏体彩制备
对于平铣（或离子束抛光），使用旋转级。由于枪组件和江苏体彩的额外横向运动，可以制备均匀的，高于25mm直径的均匀。
该制备方法用于清洁，抛光或增强机械或化学抛光表面的对比度，其目的是去除精细划痕，磨料材料和涂抹伪影。
用EM TIC 3X离子束铣床抛光的江苏体彩的实例
钢锌： 与钢相比，锌非常柔软，在机械抛光过程中会涂抹。离子铣削是一种已知的技术，用于分析镀锌钢上的锌层的厚度。使用后 em. TiC 3X，可以观察到干净的表面。锌层没有伪影和晶粒结构以及界面层清晰可见。
焊料凹凸： 具有焊料凸块的半导体结构是使用常规机械抛光很少成功制备的非常软的材料。离子束铣削是制备这种江苏体彩的优选方法。为了避免焊料凸块中各个组分的收缩，江苏体彩被液氮保护并在离子铣削期间保持冷却。结果表明，焊料凸块中的结构细节易于识别。
